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Brooks Instrument流量控制器技術資料

布魯克斯5850EMH系列高溫熱式質量流量控制器可滿足高溫苛刻條件應用需求的高純度流路

現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

應用

光纖制造 - MCVD

硅材料半導體器件加工工藝

CVD（蒸汽形式的前體輸送）

剝落（水蒸氣）

腐蝕（水蒸氣鈍化）

參數

流體類型    氣體 , 水汽

流量范圍    滿量程容量3 sccm - 10 slm

精度        SP ±1%

最大壓力    145 psig

溫度        150℃

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